Click to edit Master title style,,Click to edit Master text styles,,Second level,,Third level,,Fourth level,,Fifth level,,*,,*,,單擊此處編輯母版標(biāo)題樣式,,,,*,單擊此處編輯母版文本樣式,,第二級,,第三級,,第四級,,第五級,,第九章（1） 智能傳感器,,,智能傳感器的結(jié)構(gòu)與系統(tǒng),智能傳感器是一種帶微處理器兼有檢測、判斷、信息處理、信息記憶、邏輯思維等功能的傳感器其特點是：,1、易于線性化2、自動修正測量數(shù)據(jù)減少環(huán)境因素引起的誤差3、具有抑制漂移的能力4、其跟蹤濾波功能可以去除噪聲、提高信噪比從而提高傳感器的可靠性5、用軟件解決硬件難以解決的問題，完成數(shù)據(jù)計算與數(shù)據(jù)處理工作智能傳感器主要由敏感元件、微處理器及相關(guān)電路組成智能傳感器的原理框圖如下,,傳,感,元,件,信,號,調(diào),理,微,處,理,器,通,訊,接,口,輸,入,接,口,,,微處理器是智能傳感器的智能核心，承擔(dān)了數(shù)據(jù)收集、數(shù)據(jù)存儲、數(shù)據(jù)處理、系統(tǒng)校準(zhǔn)、系統(tǒng)補償?shù)却罅坑布y以完成的工作，從而大大降低了傳感器的制造難度，提高了傳感器的性能，降低了成本，提高了傳感器的可靠性。

智能傳感器有集成式、混合式和模塊式三種結(jié)構(gòu)集成式：將若干個敏感元件與微處理器、信號處理電路集成在同一硅片上混合式：將傳感器和微處理器、信號處理電路做在不同的芯片上，這是目前的智能傳感器的主要形式模塊式：將傳感元件模塊、微處理器模塊、信號調(diào)理電路模塊等裝配在同一個殼結(jié)構(gòu)內(nèi)智能傳感器的功能特點,1、具有邏輯思維與判斷、信息處理功能，可對檢測數(shù)值進(jìn)行分析、修正和誤差補償，提高測量精度2、具有自診斷、自校準(zhǔn)功能，提高了可靠性3、組態(tài)功能可以實現(xiàn)多傳感器多參數(shù)復(fù)合測量，擴大了檢測使用范圍用戶可以選擇需要的組態(tài)包括檢測范圍，可編程通/斷延時，選組計數(shù)器，常開/常閉，分辨率選擇等可使同一類型的傳感器工作在最佳狀態(tài)，并且能在不同場合從事不同的工作4、存儲功能使檢測數(shù)據(jù)可以隨時存取5、數(shù)據(jù)通信功能具有數(shù)據(jù)通信接口，能與計算機直接聯(lián)機，互相交換信息智能傳感器具有的串行通信接口，既可以直接與計算機進(jìn)行數(shù)據(jù)通信，實現(xiàn)點對點的測控，也可以構(gòu)成智能傳感器網(wǎng)絡(luò)與計算機實現(xiàn)數(shù)據(jù)通信，實現(xiàn)點對多點的分布式集散測控系統(tǒng)避免了模擬信號的遠(yuǎn)距離傳輸，提高了系統(tǒng)的可靠性6、自適應(yīng)技術(shù),,,可在條件變化的情況下，在一定范圍內(nèi)使自己的特性自動適應(yīng)這種變化。

通過采用自適應(yīng)技術(shù)，智能傳感器能補償老化部件引起的參數(shù)漂移，延長器件或裝置的壽命同時擴大其工作領(lǐng)域，自動適應(yīng)不同的環(huán)境條件自適應(yīng)技術(shù)提高了傳感器的重復(fù)性和準(zhǔn)確度智能傳感器中的軟件,,軟件對傳感器的測量過程進(jìn)行管理和調(diào)節(jié)，使之工作在最佳狀態(tài)，并對傳感器數(shù)據(jù)進(jìn)行各種處理，從而增強傳感器功能，提高性能指標(biāo)一、溫度補償,基本方法是：,,1、將溫度敏感元件與智能傳感器的敏感元件集成在一起，用于測量敏感元件的環(huán)境溫度2、建立溫度誤差的數(shù)學(xué)模型，微處理器根據(jù)測得的溫度值和數(shù)學(xué)模型進(jìn)行補償3、查表法二、非線性校正,,,1、線性插值法,,先用實驗測出傳感器的輸入輸出數(shù)據(jù)，利用一次函數(shù)進(jìn)行插值，用直線逼近傳感器的特性曲線如果傳感器的特性曲率大，可以將該曲線分段插值，把每段曲線用直線近似，即用折線逼近整個曲線這樣可以按分段線性關(guān)系求出輸入值所對應(yīng)的輸出值一般情況下只要分段合理，插值點數(shù)得當(dāng)就可獲得良好的線性度和精度2、二次曲線插值法,用拋物線代替原來的曲線，先求出傳感器特性曲線的反函數(shù)，并根據(jù)精度要求對曲線進(jìn)行分段，然后利用二次函數(shù)進(jìn)行插值，用二次函數(shù)逼近3、查表法,通過計算或?qū)嶒灥玫綑z測值和被檢測值的關(guān)系，然后按一定規(guī)律把數(shù)據(jù)排成表格，存入內(nèi)存單元。

微處理器根據(jù)檢測的大小查表三、數(shù)字濾波,,1、算術(shù)平均濾波,,計算連續(xù)N個點的采樣值的算術(shù)平均值作為濾波器的輸出.,,,,2、遞推平均濾波,,遞推平均濾波只需進(jìn)行一次測量就能得到平均值，它把N個數(shù)據(jù)看作一個隊列，每次測量得到的新數(shù)據(jù)存在隊尾，而扔掉原來隊首的一個數(shù)據(jù)，這樣在隊列中始終有N個“新”數(shù)據(jù)，然后計算隊列中數(shù)據(jù)的平均值作為濾波結(jié)果每進(jìn)行一次這樣的測量，就可立即計算出一個新的平均值3、加權(quán)遞推平均濾波,,遞推平均濾波法中所有采樣值的權(quán)系數(shù)相同，在結(jié)果中所占的比例相等，,這會對時變信號引起滯后為增加新采樣數(shù)據(jù)在遞推濾波中的比重，提高傳感器對當(dāng)前干擾的抑制能力，可以采用加權(quán)遞推平均濾波算法，,對不同時刻的數(shù)據(jù)加不同的權(quán)重，通常越接近現(xiàn)時刻的數(shù)據(jù)，權(quán)重取得越大,N 項加權(quán)遞推平均濾波算法為,,,,四、標(biāo)度變換,,如果傳感器的輸入輸出之間具有函數(shù)關(guān)系，可直接用解析式進(jìn)行標(biāo)度變換如果沒有，采用多項式插值法進(jìn)行標(biāo)度變換五、自動校正和自診斷,自動校正是校正傳感器的零位和滿量程誤差傳感器分別輸入零點標(biāo)準(zhǔn)值和滿度標(biāo)準(zhǔn)值，通過測量傳感器的輸出，得到智能傳感器的校正方程測量時軟件系統(tǒng)根據(jù)校正方程，對傳感器的零位誤差、增益誤差等進(jìn)行校正。

從而大大提高測量準(zhǔn)確度和可靠性自診斷就是對敏感元件及整個傳感器各部件的狀態(tài)進(jìn)行自檢，檢查傳感器的各個部分是否正常，并診斷發(fā)生故障的部件，以保證傳感器正常工作六、數(shù)字調(diào)零,用軟件實現(xiàn)偏差調(diào)零智能傳感器的低功耗設(shè)計,一、設(shè)計原則,,1、選用低功耗的敏感元件2、簡化硬件電路和傳感器功能3、設(shè)計低功耗電路，采用低功耗器件4、單電源、低電壓供電二、智能傳感器低功耗設(shè)計技術(shù),,1、降低電源電壓，壓縮電路動態(tài)范圍2、控制大電流器件的工作時間3、降低單片機的時鐘頻率4、使用單片機的睡眠方式三、智能傳感器的低功耗設(shè)實例,,1、智能濕度傳感器的結(jié)構(gòu)框圖,,濕度敏感元件,調(diào),節(jié),放,大,電,路,單,片,機,LCD顯示器,控制鍵,通信接口,,,被測信號經(jīng)調(diào)理放大電路處理，成為與被測量成正比的0.001,～4.99V,直流電壓信號，送單片機A/D轉(zhuǎn)換口LCD顯示器可顯示濕度測量值、智能濕度傳感器的工作狀態(tài)（測量/通信）、超量程提示和欠電報警通信接口可以實現(xiàn)智能濕度傳感器與計算機之間的信息傳輸對于相對濕度小于50%RH的測量環(huán)境，可選用芬蘭VAISALA公司的HMP-35濕度敏感元件，它在相對濕度60%RH以下,,,具有較好的線性和準(zhǔn)確度。

對于相對濕度大于40%RH以上的環(huán)境，可選用General Eastern公司的653-M2濕敏器件，它在相對濕度20%RH以上具有較好的線性和準(zhǔn)確性2、低功耗設(shè)計措施,,低功耗智能濕度傳感器的模擬電路主要是運算放大器為核心的放大電路這里宜選用低功耗、單電源的運算放大器，,,,可選用模擬器件公司的AD822單片機選用內(nèi)部帶有4路8位A/D轉(zhuǎn)換器、4個中斷源、8分頻定時/計數(shù)器、1024*14位片內(nèi)程序存儲器、68*8位RAM的低功耗單片機PIC16C71它具有低功耗睡眠模式（SLEEP) 和片內(nèi)看門狗定時器(WTD)，易于實現(xiàn)低功耗設(shè)計和抗干擾設(shè)計，是低功耗低成本智能傳感器較為適宜的單片機智能傳感器的設(shè)計與制造,目前智能傳感器的實際產(chǎn)品大多是模塊化結(jié)構(gòu)，近年來由于多芯片組件（MCM)技術(shù)的發(fā)展，可將智能傳感器分布在幾個芯片組件上的部件組裝起來，構(gòu)成傳感器集成智能傳感器的設(shè)計和制造中有許多復(fù)雜的技術(shù)問題一、利用微機械加工技術(shù)制造傳感器,,,微機械加工技術(shù)是微型傳感器和微機械元件的加工工藝技術(shù)，是制造智能傳感器的重要技術(shù)其中硅微機械加工技術(shù)是硅集成電路工藝的一項重要擴展技術(shù)它除了包括高度發(fā)展的硅集成電路工藝外，還有一些獨特的工藝。

它主要用于制造硅材料為基底、層與層之間有很大差別的三維結(jié)構(gòu)1、刻蝕技術(shù),它是微加工技術(shù)的特殊工藝，通過腐蝕加工形成各種微結(jié)構(gòu)，這是形成微型傳感器的關(guān)鍵技術(shù)2、體形結(jié)構(gòu)腐蝕加工,腐蝕加工有化學(xué)腐蝕和離子刻蝕技術(shù)兩大類化學(xué)腐蝕是應(yīng)用腐蝕劑腐蝕，腐蝕劑有各向同性和各向異性兩種，改變腐蝕劑中氧化劑、去除劑和稀釋劑的成分可以調(diào)整腐蝕速率、選擇性和表面腐蝕條件各向異性腐蝕可形成三維結(jié)構(gòu)離子刻蝕是在真空腔內(nèi)進(jìn)行采用等離子定向刻蝕，將硅片放在交流電源驅(qū)動的電極上，并置于充有含氟里昂氣體的化學(xué)反應(yīng)等離子體中進(jìn)行3、表面腐蝕加工技術(shù),用于制造各種懸式結(jié)構(gòu)，如微型懸臂梁、懸臂塊、微型橋、微型腔等目前已成功應(yīng)用在微型諧振式傳感器，加速度傳感器、流量傳感器和壓電傳感器中4、薄膜技術(shù),可以加工成各種梁、橋、彈性膜、壓電膜用作傳感器的敏感元件，有的可作為介質(zhì)膜起絕緣層的作用；有的可作為控制尺寸的襯墊層，在加工完成之前去除掉5、固相鍵合技術(shù),是微機械部件的裝配技術(shù)，可以把兩個固態(tài)部件直接鍵合在一起二、智能傳感器的電路設(shè)計,1、模擬信號輸入級,一般模擬信號輸入級是含有多路切換開關(guān)的可編程增益放大器,2、傳感器的激勵源,傳感器的激勵源由微處理器控制，以便使傳感器工作在最佳狀態(tài)。

3、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換,,4、數(shù)據(jù)處理,,5、數(shù)字輸出接口電路,,6、微處理器選擇,目前以單片機、DSP等嵌入式微處理器智能傳感器實例,一、ST-3000系列智能壓力傳感器,,該系列傳感器是美國Honeywell公司20世紀(jì)80年代研制的產(chǎn)品，是最早的商品化智能傳感器，可以同時測量靜壓、差壓和溫度三個參數(shù)精度達(dá)0.1級，6個月總漂移不超過全量程的0.03%，量程比可達(dá)400：1，阻尼時間常數(shù)在0,～32s,間可調(diào)目前該產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用傳感器的結(jié)構(gòu)框圖如下：,,差壓,靜壓,溫度,多,路,開,關(guān),A/D,CPU,D/A,I/O,ROM,RAM,PROM,EEPROM,4-20mA,或,數(shù)字信號,,,傳感部分由差壓、靜壓和溫度三個傳感器組成，該部分的輸出是三個參數(shù)的函數(shù)，設(shè)三個傳感器的輸出為,,,,,由此可解得,,,,,,以上由三個傳感器信號計算待測壓力的過程是在微處理器中通過軟件程序進(jìn)行的在傳感器的制造過程中，待測壓力特征數(shù)據(jù)、環(huán)境溫度特征數(shù)據(jù)就、和靜壓數(shù)據(jù)需要事先存儲在PROM中這些特征數(shù)據(jù)由生產(chǎn)線的計算機采集并送入存儲器存儲實際工作時，傳感器芯片上的三個傳感器的信號經(jīng)多路切換開關(guān)、調(diào)理電路以及A/D轉(zhuǎn)換器，分別進(jìn)入CPU。

CPU利用,,,PROM中的特征數(shù)據(jù)，對三種信號進(jìn)行程序運算處理，最終產(chǎn)生一個高精度的特性優(yōu)異的待測壓力信號輸出現(xiàn)場通信器具有以下功能：,,對傳感器進(jìn)行遠(yuǎn)程組態(tài)，設(shè)定標(biāo)號、測量范圍、輸出形式和阻尼時間常數(shù)，不到現(xiàn)場就可調(diào)節(jié)變送器的參數(shù)；,,傳感器的零點和量程校準(zhǔn)可以在現(xiàn)場進(jìn)行，不必拆卸傳感器，也不需要專門設(shè)備對傳感器進(jìn)行診斷，進(jìn)行組態(tài)檢查、通信功能檢查、變送功能檢查、參數(shù)異常檢查，診斷結(jié)果傳送到現(xiàn)場通信器中顯示；,,設(shè)定傳感器為恒流輸出，把傳感器當(dāng)作恒流源使用以便檢查系統(tǒng)中的其它傳感器或設(shè)備二、EJA差壓變送器,,系日本橫河電機株式會社與1994年研制成功的高性能智能式差壓傳感器它利用單晶硅諧振式傳感器原理，采用微電子機械加工技術(shù)（MEMS)，精度達(dá)0.075%，具有高穩(wěn)定性和高可靠性其由膜盒組件和智能轉(zhuǎn)換部件組成膜盒組件包括膜盒、單晶硅諧振式傳感器和特性修正存儲器原理圖如下：,單晶硅,諧振式,傳感器,特性,修正,傳感器,CPU,A/D,D/A,內(nèi)置存儲器,4-20mA DC,及數(shù)字信號,,,膜盒組件,數(shù)據(jù)處理部件,Δp,,,單晶硅諧振式傳感器的兩個H型諧振梁將差壓、壓力信號分別轉(zhuǎn)換成頻率信號，送到脈沖計數(shù)器中，再將兩頻率之差直接送到 CPU中進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換成與輸入信號相對應(yīng)的 4-20mA電流信號。

膜盒組件中的特性修正存儲器存儲傳感器的環(huán)境溫度、靜壓及輸入輸出特性的修正數(shù)據(jù)，CPU利用它們進(jìn)行溫度補償，校正靜壓及輸入輸出特性三、8800 A型卡曼旋渦流量變送器,這是美國Rosemount公司的智能傳感器它利用“卡曼渦流”現(xiàn)象測定流量，即當(dāng)管道中裝設(shè)柱狀阻擋物時，流體流過時形成兩列旋渦，旋渦出現(xiàn)的頻率與流量成正比該變送器利用應(yīng)力檢測法測量旋渦頻率，在柱狀物的后部插入嵌有壓電元件的桿，當(dāng)旋渦沖擊桿端時形成彎矩，壓電元件出現(xiàn)電荷，電荷經(jīng)放大器放大后，經(jīng)濾波、A/D轉(zhuǎn)換后送入數(shù)字式跟蹤濾波器它能跟蹤旋渦的頻率對噪聲進(jìn)行抑制，使濾波后的數(shù)字信號正確反映流量值 CPU接收跟蹤濾波的數(shù)字信號進(jìn)行處理后送D/A轉(zhuǎn)換器輸出4-20mA的電流8800 A型卡曼旋渦流量變送器具有自診斷、溫度校正等功能，通過現(xiàn)場通信器進(jìn)行組態(tài)4、超聲智能測距傳感器,,美國Merritt系統(tǒng)公司（MSI）開發(fā)了兩種超聲智能測距傳感器，一種測量范圍為150-3000mm，采樣頻率為40Hz，精度為、2.5mm；另一種是高精度型，測量范圍為25-600mm，采樣頻率為200Hz，精度為0.25mm傳感器內(nèi)有以 CPU為中心的數(shù)據(jù)處理電路，通過測量超聲波從傳感器到目標(biāo)再返回所需要的時間，計算傳感器到達(dá)目標(biāo)的距離。

5、多路光譜分析智能傳感器,,它可以從人造衛(wèi)星攝取地球表面的圖像，通過反射型繞射光柵，由CCD固態(tài)攝像傳感器轉(zhuǎn)換成電信號，即可進(jìn)行多路光譜分析，測量數(shù)據(jù)由CPU解析和統(tǒng)計處理，可得到氣象方面的各種信息6、機器人視覺傳感器,,它利用CCD圖像傳感器，將工作信號經(jīng)微機處理，獲得重心坐標(biāo)、面積、最大尺寸等數(shù)據(jù)即確定工件位置，并由母線系統(tǒng)輸送到顯示器再經(jīng)數(shù)摸轉(zhuǎn)換器后輸入到控制系統(tǒng)控制機器人動作第九章（2）,測試系統(tǒng)集成設(shè)計與性能評價,一、 測試系統(tǒng)集成設(shè)計原則與步驟,,現(xiàn)代測試系統(tǒng)的設(shè)計過程就是對系統(tǒng)各單元模塊的參數(shù)反復(fù)進(jìn)行預(yù)估選擇、性能評價的過程，以使按最終確定的參數(shù)建立起的系統(tǒng)達(dá)到預(yù)定的技術(shù)目標(biāo)1、單元模塊的選擇與優(yōu)化,現(xiàn)代測試系統(tǒng)的基本組成形式如圖所示,,,,,S1為傳感器，S2為調(diào)理電路，S3為數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)；W1與W2分別代表傳感器和放大器的頻率特性,,,,2、參數(shù)的確定與預(yù)估,根據(jù)測試系統(tǒng)的技術(shù)指標(biāo)要求，確定測試系統(tǒng)各環(huán)節(jié)的基本參數(shù)、動態(tài)特性，預(yù)估系統(tǒng)各環(huán)節(jié)的誤差極限 1 ）基本參數(shù)的確定,基本參數(shù)的確定主要根據(jù)分辨力與量程的要求，確定各硬件模塊或環(huán)節(jié)的靈敏度對于一般測試系統(tǒng)的基本形式，靈敏度的表達(dá)式為,,,,,,基本參數(shù)的確定方法：,通常按系統(tǒng)分辨力與量程的要求及工作環(huán)境條件，先確定傳感器類型及其靈敏度S．然后再進(jìn)行放大器增益S與A/D轉(zhuǎn)換器分度值S的權(quán)衡。

一般方法是先根據(jù)測試范圍和分辨力確定A/D轉(zhuǎn)換器或數(shù)據(jù)采集卡的位數(shù)再根A/D轉(zhuǎn)換器或數(shù)據(jù)采集卡的位數(shù)、輸入電壓范圍和傳感器的靈敏度S，確定放大器的增益S當(dāng)測試范圍較大時可考慮多量程這樣可以降低A/D轉(zhuǎn)換器或數(shù)據(jù)采集卡的要求2）,誤差極限的預(yù)估,,誤差極限的預(yù)估就是按系統(tǒng)總誤差的限定值對組成系統(tǒng)單元模塊進(jìn)行誤差分配基本思路是誤差預(yù)分配、綜合調(diào)整、再分配再綜合，直至選定單元模塊的靜態(tài)性能滿足系統(tǒng)靜態(tài)性能的要求二、 測試系統(tǒng)集成設(shè)計舉例,題目：電阻傳感器稱重測試系統(tǒng)的設(shè)計,要求：測量范圍：0~10t；分辨力：0.01t；測量不確定度：1.5%；工作溫度：0~5,0℃1、系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu),根據(jù)設(shè)計要求，系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)如圖所示2、,稱重傳感器的選擇,,橋式稱重傳感器是利用電阻應(yīng)變原理構(gòu)成的一種高精度力電轉(zhuǎn)換元件，彈性體采用橋式結(jié)構(gòu)它由,4,片電阻應(yīng)變計構(gòu)成惠斯登電橋，如圖所示當(dāng)傳感器受到外力作用時，,彈性體產(chǎn)生形變，電阻應(yīng)變計阻值發(fā)生變化．使橋路失去平衡，在外界供橋電源作用下，電橋輸出一下平衡直流電壓信號，該信號的大小與傳感器所受外力大小成正比，據(jù)此可測定外載荷的大小CZLYB-11,型橋式稱重傳感器的主要技術(shù)指標(biāo)如表,所,示,,,,,3、A,／,D,轉(zhuǎn)換器位數(shù),n,的確定,,從設(shè)計要求中獲知，該系統(tǒng)的測量范圍,0~10t,、分辨力,0.01t,，所以系統(tǒng)的最大量化值,Dm,為：,Dm=滿量程值/分辨率＝10/0.01＝1000,故至少選擇,10,位,A/D,，本系統(tǒng)選,TCL1549。

TCL1549,是,TI,公司生產(chǎn)的,10,位逐次逼近模數(shù)轉(zhuǎn)換器，具有自動采樣保持、串行接口功能，滿度輸入電壓隨基準(zhǔn)電壓V,H,而變化這里V,H,,=5v,4、,放大器的選擇或設(shè)計,,稱重傳感器輸出信號的特點是“浮地”，所以放大器必須采用雙端輸入差動放大器放大器的增益可根據(jù)稱重傳感器輸出靈敏度、,A/D,轉(zhuǎn)換器的最大輸入電壓確定由表可知，稱重傳感器輸出靈敏度為,2mv,／,v,，意指在額定載荷、橋路電壓為,1V,時，橋路輸出為,2mv,本系統(tǒng)選額定載荷,10t,，橋路電壓取,12v,，傳感器輸出靈敏度,S1,為：,,,,,,A,／,D,轉(zhuǎn)換器的滿度輸入電壓為5V，則量化值,Q,為,當(dāng)載荷為,W=0.01t,時，橋路輸出電壓為,,,,,,,,,,,,現(xiàn)選擇,AD627,測量放大器作為本系統(tǒng)的放大器環(huán)節(jié)AD627,是美國,ADI,公司生產(chǎn)的精密儀器放大器之一參考電路如圖所示其增益,G=5＋200/R,G,，改變,R,G,可調(diào)整增益當(dāng)選擇,R,G,,=910+,（,0~200,）,Ω,，增益的變比范圍為,185~225,，可滿足設(shè)計要求此外，考慮到,A/D,轉(zhuǎn)換器的最大輸入電壓V,H,,=5v,，當(dāng)最大載荷,W=10t,時，橋路的輸出電壓為：,,于是，,AD627,的最大增益,,,,,,,AD627管腳示意圖,,,AD627,的主要技術(shù)參數(shù)見下表,,,,,,,,5、,測量不確定度的預(yù)估,（1,）測量不確定度預(yù)估的數(shù)學(xué)模型,當(dāng)被測重物的重量,W,對應(yīng),A/D,轉(zhuǎn)換器的量化值為,D,，根據(jù)基本結(jié)構(gòu)，可得重量,W,與量化值,D,的關(guān)系為,,于是可得數(shù)學(xué)模型,,,,式中，S1、S2、S3分別為傳感器、放大器、,A/D,轉(zhuǎn)換器的靈敏度,,,,,,,（2）,分項測量不確定度的預(yù)估,W,的分項測量不確定度包含,4,項，即測量不確定度,U(,S1,),、,U,（S2）、,U,（S3）和,U,（,D,），下面分別計算。

①,測量不確定度,u(S1),的計算,,由表可知，影響測量不確定度,u(S1),的因素如下由靈敏度變化0.004/2時，引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,,非線性引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,,,重復(fù)性引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,,,,,,,,當(dāng)環(huán)境變化,5,0℃引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,,橋路電壓變化引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,,,S1,測量不確定度U(S1)為,,這里沒有考慮”零點輸出”引起的不確定度，是因為零點輸出是恒定的系統(tǒng)誤差，可通過硬件或軟件消除，如果軟件中有非線性校正功能，非線性誤差引起的測量不確定度也可不,考慮．本例不考慮非線性校正②,測量不確定度,U(,S2,),的計算根據(jù)表， S2的測量不確定度分量如下,,本例中，增益為,203,，所以增益誤差取,0.2,％，引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為,,注意，上述增益誤差未計入,R,G,阻值波動而產(chǎn)生的增益誤差非線性引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,,,當(dāng)溫度在,25,±,2,5℃,范圍變化時引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,,,,,,,S2的測量不確定度為U(S2),此外，共模電壓也會引起測量誤差稱重傳感器的電路是橋式結(jié)構(gòu)，其共模輸出電壓為,由于,AD627,的共模抑制比,CMRR=90dB,,即有,,式中，,ΔU,為Um在放大器輸出端引起的誤差電壓，于是,,因此,,系統(tǒng)選用,10,位,A/D,，量化單位,遠(yuǎn)小于,Q,的一半，故屬于微小誤差．可忽略不計。

③,S3,的測量的確定度U,(,S3,),的計算,,S3,是,A/D,轉(zhuǎn)換器的靈敏度，其表達(dá)式為,,式中，,V,ref,是,A/D,轉(zhuǎn)換器的基準(zhǔn)電壓本系統(tǒng)選用,REF02,電壓基準(zhǔn)REF02,是,BURRR,—,BROWN,公司生產(chǎn)的集成精密電壓基準(zhǔn)，主要技術(shù)參數(shù)如表所示,,,,,S3不確定度取決于V,ref,不確定度，而V,ref,不確定度主要有兩個分量，即輸出電壓隨溫度變化引起的分量和基準(zhǔn)輸入電壓變化引起的分量基準(zhǔn)輸入電壓為電源電壓，一般不會超過,±,1V,，引起的輸出電壓變化由電壓調(diào)整率決定輸出電壓隨溫度變化引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,,當(dāng)電源電壓變化,±,1V,時引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,,,于是，,S3,的測量不確定度,U,(,S3,),為,,,,,,,,,,④,,A/D,轉(zhuǎn)換器的輸出量,D,（量化的數(shù)字值）的測量不確定度U（D）的計算,在未給出,A/D,轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換精度情況下，其測量不確定度主要由量化誤差計算引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,,,,,,（,3,）,W,的合成測量不確定度的預(yù)估,根據(jù)測量不確度預(yù)估的數(shù)學(xué)模型式，,W,的合成測量不確定度為U,C,（W）,,,,,,,,,,,（,4,）,W,的擴展測量不確定度的預(yù)估,W,的擴展測量不確定度,U,（,W,）等于合成測量不確定度乘以覆蓋因子,(,這里取,),，即,,W,的擴展測量不確定度為,1.1%,，小于,1.5%,的設(shè)計要求，所以設(shè)計的系統(tǒng)符合要求。

智能傳感器的發(fā)展趨勢,一、利用新型材料研制基本傳感器,,材料包括硅、功能陶瓷、石英、記憶合金等二、利用新加工技術(shù),,主要指微加工技術(shù)三、采用新的測量原理和方法,,包括光纖傳感、化學(xué)傳感和生物傳感等新的信息來源演講完畢，謝謝觀看！,內(nèi)容總結(jié),第九章（1） 智能傳感器計算連續(xù)N個點的采樣值的算術(shù)平均值作為濾波器的輸出.每進(jìn)行一次這樣的測量，就可立即計算出一個新的平均值集成智能傳感器的設(shè)計和制造中有許多復(fù)雜的技術(shù)問題它主要用于制造硅材料為基底、層與層之間有很大差別的三維結(jié)構(gòu)用作傳感器的敏感元件，有的可作為介質(zhì)膜起絕緣層的作用有的可作為控制尺寸的襯墊層，在加工完成之前去除掉以上由三個傳感器信號計算待測壓力的過程是在微處理器中通過軟件程序進(jìn)行的它能跟蹤旋渦的頻率對噪聲進(jìn)行抑制，使濾波后的數(shù)字信號正確反映流量值CPU接收跟蹤濾波的數(shù)字信號進(jìn)行處理后送D/A轉(zhuǎn)換器輸出4-20mA的電流對于一般測試系統(tǒng)的基本形式，靈敏度的表達(dá)式為放大器的增益可根據(jù)稱重傳感器輸出靈敏度、A/D轉(zhuǎn)換器的最大輸入電壓確定3）W的合成測量不確定度的預(yù)估4）W的擴展測量不確定度的預(yù)估演講完畢，謝謝觀看,。